Wafer&Mask缺陷檢查機-翔緯光電股份有限公司

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Wafer&Mask缺陷檢查機

此機台專用於檢測晶圓與光罩的缺陷檢測，並可根據需求，針對料片上的圖形，進行尺寸量測。
另外，該機台具備更換鏡頭的彈性，可視精度需求，變更不同倍率的鏡頭(１倍鏡、４倍鏡頭)。
  
 
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